真空泵是一種能使氣體持續的吸進和排出來，進而做到傳送氣體目地，按其工作中的原理能夠分成二種種類：變容真空泵、角動量傳送泵。
一、變容類真空泵
利用泵腔容量的規律性轉變來進行呼吸和排氣管全過程的一種真空泵。以其內部膈膜、活塞桿、轉子的健身運動矢量素材又可以分成2種種類：
1、往復式真空泵
往復式真空泵是利用泵腔內活塞桿、膈膜做單一反復運動。氣嘴上有本產品，在偏心圓電動機的勻速圓周運動推動下，泵內部的膈膜伸縮式健身運動，將氣體吸進、縮小并排出來，因而稱之為活塞泵體或是氣動隔膜泵，我廠生產制造的打氣泵均因此原理工作中。此系列產品泵的特性是：多見無汽油泵，不環境污染物質，容積小型化，選用中小型直流無刷電機多見。
由于往復氣動隔膜泵和活塞泵體的所述特性，這一系列真空泵被廣泛運用于醫療設備、分析儀、監測儀等行業，用以傳送不可以被環境污染的物質。
2.轉動類真空泵
這種泵是利用泵腔內轉子做轉動健身運動，根據變容等方法保持吸進氣體并排出來的全過程。轉盤式真空泵類型多種多樣，工業生產中較常見有以下系列產品：旋內置式真空泵：2個(或之上)旋片在轉子槽體拖動并與電機定子內腔相觸碰，將泵腔分成好多個可變性容量的一種轉動變容量真空泵，一般
旋片與泵腔中間的空隙用食油來做為密封性。旋片泵極限真空值極高，能夠做為其他高真空泵或極高真空泵的前面泵，但它不適合提取具有還原性的，對金屬材料有腐蝕的、對油泵會起化學變化及其帶有顆粒物浮塵的氣體。
液環式真空泵：含有多葉子的轉子軸力裝在泵體內。當它轉動時，把液體拋到泵體并產生與泵體同舟的液環，液環同轉子葉子產生了容量周期時間轉變的轉動變容真空泵，當工作中液體為水時，又稱之為水環式真空泵。
水環真空泵原理
羅次真空泵：以羅茨鼓風機演化而成，泵效大，轉子不用潤化，容許被抽氣體中帶有的塵土和水蒸汽，但羅茨真空泵是一種無內縮小的真空泵，一般
壓縮比很低(泵的排氣管工作壓力與進氣口工作壓力之比稱之為壓縮比),因此氣體在泵腔內沒有被縮小，吸進口造成的空氣壓力不大，出氣口造成正壓力也較低。
羅茨真空泵原理
擠出機螺桿真空泵：利用一對擠出機螺桿，在泵體中作同歩髙速反方向轉動而造成的呼吸和排氣管功效的泵爪式真空泵。工作中腔及擠出機螺桿轉子表層有防腐蝕鍍層，可融入極端工作狀況，不油耗，氣體在泵內無縮小，適合提取可凝性氣體，但成本增加，依靠進口，不宜提取強空氣氧化、易燃易爆物品氣體。
螺桿真空泵原理
此系列產品的泵密封性方法多選用骨架密封、密封環密封性、機械密封等，歸屬于大中型泵類，一部分物質會與油泵起化學變化，因而需依據應用情景挑選種類合適的泵。
二、動量傳送泵
這類泵原理是借助高速運轉的葉子或髙速水射流，把角動量傳送給氣體或氣體分子結構，使氣體接連不斷地從泵的通道傳送到出入口。增壓分子泵:利用高速運轉的動離心葉輪將角動量發送給氣體分子結構，使氣體造成定項流動性而抽真空的真空泵。此種類泵耐標準氣壓沖擊性，無氣體儲存和氣體吸附效用，不環境污染氣體，真空值極高，多用以熱核反應設備、重粒子加速器和高級電子元器件生產制造等層面。
真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產生、改善和維持真空的裝置。真空泵可以定義為：利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。隨著真空應用的發展，真空泵的種類已發展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數百萬升。極限壓力(極限真空)從粗真空到10-12Pa以上的極高真空范圍。
真空區域的劃分
粗真空
105～103Pa
低真空
103～10-1Pa
高真空
10-1～10-6Pa
超高真空
10-6～10-10Pa
極高真空
<10-10Pa
真空泵的分類
按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即變容真空泵和動量傳輸泵。
變容真空泵是利用泵腔容積的周期變化來完成吸氣和排氣以達到抽氣目的的真空泵。氣體在排出泵腔前被壓縮。
動量傳輸泵（分子真空泵）依靠高速旋轉的葉片或高速射流，把動量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續不斷地從泵的入口傳輸到出口。（單獨段介紹）
變容真空泵又分為：往復式，旋轉式（旋片式、滑閥式、液環式、羅茨式、螺旋式、爪形轉子式），其它型式。
各類真空泵工作壓力范圍
真空泵種類
工作壓強范圍（Pa）
往復式真空泵
1×105～1.3×102
旋片式真空泵
1×105～6.7×10-1
液環式真空泵
1×105～2.7×103
羅茨式真空泵
1.3×103～1.3
水蒸氣噴射泵
1×105～1.3×10-1
油擴散泵
1.3×10-2～1.3×10-7
鈦升華泵
1.3×10-2～1.3×10-9
真空泵的規格及型號表示法：
國產的各種機械真空泵的型號通常是用漢語拼音字母來表示。漢語拼音字母表示泵的類型；字母前的數字表示泵的級數，單級時“1”省略；字母后邊橫線后的數字表示泵的抽速(L/S) 。
國產真空泵型號對照表
型 號
名 稱
型 號
名 稱
往復式真空泵
滑閥式真空泵
WY
移動閥式往復泵
YZ
余擺線真空泵
WL
立式往復泵
ZJ
羅茨真空泵
SZ
水環泵
旋片式真空泵
SZB
懸臂式結構水環泵
分子真空泵
SZZ
直聯式水環泵
XZ
直聯式旋片泵
常用真空泵技術
蒸汽噴射泵
濕式泵（液環真空泵、旋轉葉片泵）
干式泵（羅茨泵、螺桿泵、爪式泵）
1、蒸汽噴射泵
噴射真空泵工作原理：蒸汽噴射真空泵有一定壓強的工作的真空泵設備，蒸汽通過拉瓦爾噴咀，減壓增速，蒸汽的勢能轉變為動能并以超音速噴入混合室，與被抽介質混合，進行能量交換，混合后的氣體進入擴壓器，減速增壓，動通轉化為壓強能，為了減少后級泵的抽氣負荷，配置冷凝器，通過有一定溫差的兩種介質對流，進行熱交換，達到冷凝高溫介質目的，排到大氣壓。工作原理如下圖所示：
常用真空泵技術
優點：
缺點：
無機械運動部件
運動流體供應
可靠耐用
廢水處理
快速的抽真空
工藝過程污染
緊湊、占地面積小
故障探尋困難
工作安全
級間冷卻
低的投資成本
常為多級
適應性強
在 400PaA以下結冰
結構簡單、重量輕
2、濕式泵：液環真空泵
在圓形泵體（A）內，在相對于泵體中心線為偏心的軸上裝有一個葉輪（B）。轉動的葉輪的離心作用迫使工作液通過通道（D）流向腔體周邊形成環流（C）。
泵起作用時，被輸送的氣體混合物經過中間板（E）上的吸入口（H）進入葉輪，在泵入口處形成真空。氣體混合物充入位于液環內徑和葉輪葉片根部之間的葉輪腔內。當葉輪轉動時，葉輪葉片浸沒在液環中的程度增加，而使液環和葉輪葉片根部之間的容積減少。結果是氣體混合物受到壓縮，直至到達中間板中（K）的排放口（J）。氣體混合物通過排放口排出。
在壓縮循環過程中，熱傳遞到液環。為了使溫度保持在工作液的蒸發點以下，必須進行冷卻。通過連續不斷地向液環添加冷的工作液來達到冷卻的目的。添加的工作液量與經過排放口與壓縮氣體混合物一起排放的工作液排放量相等。氣體混合物和工作液最終經過泵出口進行分離。
液環泵按不同結構可分成如下幾種類型：
(1) 單級單作用液環泵單級是指只有一個葉輪，單作用是指葉輪每旋轉一周，吸氣、排氣各進行一次。這種泵的極限真空較高，但抽速和效率較低。
(2) 單級雙作用液環泵單級是指只有一個葉輪，雙作用是指葉輪每旋轉一周，吸氣、排氣各進行二次。在相同的抽速條件下，雙作用液環泵比單作用液環泵大大減少尺寸和重量。由于工作腔對稱分布于泵輪轂兩側，改善了作用在轉子上的載荷。此種泵的抽速較大，效率也較高。
(3)雙級液環泵大多是單作用泵串聯而成。實質上是兩個單級單作用的液環泵的葉輪共用一根心軸聯接而成。它的主要特點是在較高真空度下，仍然具有較大的抽速，而且工作狀況穩定。
(4)大氣液環泵實際是大氣噴射器串聯液環泵的機組。液環泵前面串聯大氣泵是為了提高極限真空，擴大泵的使用范圍。
優點
缺點
結構簡單，制造精度要求不高，容易加工。
結構緊湊，泵的轉數較高，一般可與電動機直聯，無須減速裝置。故用小的結構尺寸，可以獲得大的排氣量，占地面積也小。
壓縮氣體基本上是等溫的，即壓縮氣體過程溫度變化很小。
由于泵腔內沒有金屬磨擦表面，無須對泵內進行潤滑，而且磨損很小。轉動件和固定件之間的密封可直接由水封來完成。
吸氣均勻，工作平穩可靠，維修方便。
效率低，一般在30%左右，較好的可達50%。
真空度低，這不僅是因為受到結構上的限制，更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的限制。用水作工作液，極限壓強只能達到2000~4000Pa。用油作工作液，可達130Pa。
封液循環、污染。
濕式泵：旋轉葉片泵
轉子在有柱狀膛孔的定子內 。
轉子有兩個葉片在槽中反向滑動 。
當轉子運轉時，葉片端與油潤滑定子壁接觸。
每轉一次為兩個泵吸循環 —比較小的不平衡力。
優 點
缺 點
極限壓力好
噪聲小
應用范圍廣
油封液污染
對腐蝕很敏感
維修費用高
抽速范圍受到限制
不適于抽除含氧過高、有爆炸性、對泵密封油起化學作用、及含有顆粒灰塵的氣體。
濕式泵的主要問題：密封液體供應，污染，廢水處理，腐蝕，蒸汽壓力限制（特別是液環泵），可靠性，運行成本。
3、干式泵
干式抽真空：沒有工業生產液流的污染；
深度真空，運轉更靈活；
無廢水，無污染，（較少或）無廢棄物處理費用；
維修成本較低；
在泵排放口立即回收溶劑；
消耗水、電、氣等費用較低→運行成本較低。
技術對比：
干式泵的成本
投資成本較高，但較低的運行成本。
延長維修服務間隔時間和軸承壽命。
在運轉范圍內，電力消耗較低。因此，在容能比（M3/hr/kW）方面節能效果更好。
無受污染的油要進行處理（除了齒輪箱以外）。
干式泵技術：泵的類型：羅茨泵、螺桿泵、爪式泵；
羅茨泵：
螺桿泵：
螺桿泵是利用齒輪傳動同步反向旋轉的相互嚙合而不接觸的左螺桿與右螺桿作高速轉動，利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個空間、形成多個級，氣體在相等的各個槽內（柱形等螺距）進行傳輸運動，但無壓縮，只有螺桿最末端的螺旋結構對氣體有壓縮作用。螺桿的各級間可形成壓力梯度，以分散壓差和提高壓縮比。各部間隙和泵轉速對泵的性能有很大影響。在設計螺桿各部的間隙時，要考慮膨脹、加工及裝配精度和工作環境（如抽除含粉塵氣體等）等。
螺桿泵結構及特點
通過減速或注氣來冷卻—能力降低并減少危險
雙螺桿運轉
不銹鋼轉子
轉子嚙合匹配
懸臂軸
單級壓縮
產生過多的熱
有很好的液體兼容性
維護保養非常容易
復雜的螺桿結構方式
爪式泵
爪式泵結構特點
氣體壓縮比高
有效的氣體壓縮
工藝材料可以從泵中通過（良好的灰塵處理）
良好的蒸汽輸送和回收
能忍受熱負載
抽空到和擴散泵交接
直接支持工業擴散泵
動量傳遞式真空泵
利用高速旋轉的葉片或高速射流，把動量傳輸給被抽氣體或氣體分子，使氣體不斷地從入口傳輸到出口的真空泵。
分子泵：牽引分子泵、渦輪分子泵和復合分子泵三大類。
噴射真空泵：水噴射泵、氣體噴射泵和蒸汽噴射泵三大類
擴散泵：以油或汞蒸汽作為工作介質。汞擴散泵不帶分餾裝置，油擴散泵有分餾裝置。
噴射真空泵(Jet Vacuum Pump)
噴射真空泵是利用液體或者氣體的高速射流攜帶被抽氣體，使被抽容器內獲得一定真空度的一種低真空泵。
按工作介質可分為水噴射泵、大氣噴射泵和水蒸汽噴射泵
噴射泵特點：
結構簡單、工作穩定可靠；
可抽除含有水蒸汽、粉塵的氣體、易燃易爆氣體和腐蝕性氣體；
抽氣量大，應用廣泛：冶金、化工、食品制造等領域；
缺點：抽氣效率低，能量損失大。
水噴射泵是用水作為工作介質，通過高速射流來引射被抽氣體，使容器達到一定真空度的粗真空獲得設備。
單級泵的極限壓強為3.3kPa，兩級串聯可獲得好一些的真空度，主要受水飽和蒸汽壓的限制。
可單獨使用，也可作為其他真空泵的前級。
噴嘴的作用是將水的壓強轉變成動能，其結構對泵的性能影響較大，常用錐形收縮型、流線型和多孔型。
吸入室一般為圓筒形，截面積為噴嘴出口面積的6-10倍。
擴散器由漸縮段、喉管、漸擴段組成。漸縮段使氣體順利進入喉管(15~30o)；喉管使液體與氣體均勻混合，進行質量遷移和能量傳遞；漸擴段是將氣液混合介質動能轉變為壓力能，使被抽氣體壓縮。(5~8o)
鍋爐內的擴散泵油經電加熱沸騰形成蒸汽；
油蒸汽經過導流管進入傘形噴嘴，形成超音速蒸汽流；
由于存在密度梯度，油蒸汽射流上方的被抽氣體擴散到蒸汽射流內部，獲得動量，被攜帶到泵壁上；
油蒸汽在水冷泵壁上冷凝，釋放出氣體，被前級泵抽走；
冷凝油滴沿泵壁流回鍋爐。
真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。
正確地選擇真空泵的工作點。
真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。
了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。
真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵。
真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構。
立式結構的進、排氣口水平設置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高，在高速運轉時穩定性差，故這種型式多用于小泵。
臥式泵的進氣口在上，排氣口在下。有時為了真空系統管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進、排氣方向是相互垂直的。此時，排氣口可以從左或右兩個方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結構重心低，高速運轉時穩定性好。一般大、中型泵多采用此種結構。
泵的兩個轉子軸與水平面垂直安裝。這種結構裝配間隙容易控制，轉子裝配方便，泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便，潤滑機構也相對復雜。
真空泵(vacuum pump)
利用機械、物理、化學、物理化學等方法對容器進行抽氣，以獲得和維持真空的裝置。真空泵和其他設備(如真空容器、真空閥、真空測量儀表、連接管路等)組成真空系統，廣泛應用于電子、冶金、化工、食品、機械、醫藥、航天等部門。
按其工作原理，基本上分為氣體輸送泵和氣體捕集泵兩種類型。
氣體輸送泵包括：1、液環真空泵(水環真空泵)2、往復式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑閥式真空泵6、余擺線真空泵7、干式真空泵8、羅茨真空泵9、分子真空泵10、牽引分子泵11、復合式真空泵12、水噴射真空泵13、氣體噴射泵14、蒸汽噴射泵15、擴散泵等
氣體捕集泵包括：吸附泵和低溫泵等。
目前工業中應用較多的是水環式真空泵和旋片式真空泵等。
W型往復式真空泵( Model W Piston Vacuum Pump )
是獲得粗真空的主要真空設備之一。廣泛應用于化工，食品，建材等部門，特別是在真空結晶，干燥，過濾，蒸發等工藝過程中更為適宜。
2X型旋片式真空泵( Model 2X Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )
用來抽除密閉容器的氣體的基本設備之一。它可以單獨使用，也可作為增壓泵、擴散泵、分子泵的前級泵使用。該型泵廣泛應用于冶金、機械、電子、化工、石油、醫藥等行業的真空冶煉、真空鍍膜、真空熱處理，真空干燥等工藝過程中。
2XZ型旋片式真空泵( Model2XZ Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )
具有結構緊湊，體積小，重量輕，噪音低，振動小等優點。所以，它適用于作擴散泵的前級泵，而且更適用于準確儀器配套和實驗室使用。例如：質譜儀器，冰箱流水線，真空冷凍干燥機等。
XD型旋片式真空泵( Model XD Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )
可以在任意入口壓強下工作，已普遍應用于食品的真空包裝，塑料工業的真空吸塑成形。印刷行業的紙張輸送，真空夾具，以及真空吸引等。
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